我司产品荣获“第十三届(2018年度)中国半导体创新产品和技术”奖

近日,2019世界半导体大会上我司SSB300系列高性能LED步进投影光刻机荣获第十三届(2018年度)中国半导体创新产品和技术奖。

该系列产品主要面向6英寸以下中小基底先进光刻应用领域,满足HB-LEDMEMSPower Devices等工艺制程中的单面或双面光刻工?#25307;?#27714;。具有高分辨率、高产能和高套刻精度等特点,并具备高速在线Mapping技术、多尺寸基底自适应切换、工件台吸盘污染监控、可变狭缝和背面对准等功能,具有很强的工艺适应性。



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