600系列光刻机 —— IC前道制造


SSA600/20

SSC600/10

SSB600/10

SSX600系列步进扫描投影光刻机采用四倍缩小倍率的投影物镜、工艺自适应调焦调平技术,以及高速高精的自减振六自由度工件台掩模台技术,可满足IC前道制造90nm、110nm、280nm关键层和非关键层的光刻工?#25307;?#27714;。该设备可用于8寸线或12寸线的大规模工业生产。
   主要技术参数
 型号  SSA600/20  SSC600/10  SSB600/10
 分辨率  90nm  110nm  280nm
 曝光光源  ArF excimer laser  KrF excimer laser  i-line mercury lamp
 镜头倍率  1:4  1:4  1:4
 硅片尺寸  200mm或300mm  200mm或300mm  200mm或300mm
广东快乐8开奖结果
重庆时时彩 闲来甘肃麻将正式版 浙江省快乐彩 大赢家即时指数 凯蒂卡巴拉 足球即时比分即时指数 澳洲幸运十在线计划 2020cba赛程表辽宁队 湖南丫丫麻将下载安装 中航机电股票行情分析 天天海南麻将安装 排列5开奖结果l 股票涨跌的原理 湖南转转麻将什么软件好 湖北快三 一条哈尔滨麻将手机版